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  ·MEMS傳感器原理與結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)析


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上傳時(shí)間:2010-01-10 00:23:35

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  詳細(xì)介紹: 發(fā)表評(píng)論   
摘要:盡管常規(guī)地震檢波器發(fā)展已有5O年的歷史,體積變得很小,靈敏度很高,并且較好地抑制地面噪聲,但MEMS加速度傳感器仍然以其直接的數(shù)字輸出、高的矢量保真度和良好的低頻響應(yīng),逐漸成為新世紀(jì)地球物理勘探技術(shù)發(fā)展中的重要角色。文章對(duì)MEMS傳感器進(jìn)行了概述,對(duì)其結(jié)構(gòu)與工作原理進(jìn)行了簡(jiǎn)要分析。
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